
国常识产权局信息炫夸东方铁皮保温,肥晶集成电路股份有限公司央求项名为“种半体器件中西格玛沟槽的制作法”的利,公开号CN121463515A东方铁皮保温,央求日历为2026年1月。
利摘抄炫夸,本发明属于半体手艺域,公开种半体器件中西格玛沟槽的制作法,包括:提供衬底,衬底包括器件区和二器件区;器件区的有源区上造成有PMOS区栅和PMOS栅掩膜层;使PMOS栅掩膜层的顶部清楚在器件区形光刻胶层外部;在二器件区顶部以及PMOS栅掩膜层顶部千里积层千里积氧化硅层;去除器件区的光刻胶层;刻蚀去除有源区名义当然氧化硅层,进而蚀刻有源区的硅,在器件区的半体衬底中造成U型沟槽;对U型沟槽接受TMAH蚀刻造成西格玛沟槽。本发明在进行源漏镶嵌锗硅的经由中,避了PMOS和NMOS的度差产生,不会影响对后续制程产生影响。
天眼查府上炫夸,铁皮保温施工肥晶集成电路股份有限公司,竖立于2015年,位于肥市,所以从事绸缪机、通讯和其他电子开辟制造业为主的企业。企业注册本钱200759.1697万东谈主民币。通过天眼查大数据分析,肥晶集成电路股份有限公司共对外投资了10企业,参与招投标形势636次,财产行踪面有信息41条,利信息1613条,此外企业还领有行政许可22个。
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